격자식 미세구조 성장 모델을 이용한 다결정 박막 소재의 유한 요소 해석

Lattice based Microstructure Evolution Model for Monte Carlo Finite Element Analysis of Polycrystalline Materials
최재환, 김한성, 이준기식별저자, 나경환식별저자
소성가공 제13권 제3호, 2004.04, 248-252 (5 pages)
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목차
Abstract
1. 서론
2. 박막소재의 미세구조 성장 모사
3. 격자 모델 인자 역추출
4. 유한 요소 분할 및 해석
5. 결론
참고문헌
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  1. , 1999 , Measurement of mechanical properties for MEMS materials 10 : 706 ~ 716

  2. , 1998 , Specimen size effect on tensile strength ofsurface-micromachined polycrystalline silicon thin-films 7 (1) : 106 ~ 1

  3. , 1995 , Micromechani-cal properties of amorphous carbon coatings deposited by different deposition techniques 270 : 391 ~ 398

  4. , 1998 , Monte Carlo simulation of effective elastic constants of polycrystalline thin films 45 (6) : 2247 ~ 2255

  5. , 2001 , The atomic limit of finite element modeling in MEMS Coupling of length scales 39 : 17 ~ 26

  6. , pp.958~972. , Random subdivisions of space into crystals

  7. , pp.6995~7000. , Crystallization in amorphous silicon 50

  8. , 2000 , Lattice model for kinetics and grain-size distribution in crystallization 61 (10) : 6579 ~ 6586

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