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한재원 (Jae W. Hahn)

소속기관
연세대학교
소속부서
기계공학부
직급
-
ORCID
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연구경력
-

주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학
  • 공학 > 기계공학
  • 공학 > 항공우주공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수59
  • 발행기간1993 ~ 2017
  • 이용수2,153
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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
로켓 플룸 내부 OH 라디칼 공간분포 계측을 위한 발광 분광 기법에 관한 연구 한국추진공학회 학술대회논문집 2017 16 0
Critical dimension uniformity improvement by adjusting etch selectivity in Cr photomask fabrication 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 14 0
디지털 리소그래피 기술 광학과 기술 2014 63 0
리소그래피 기술 광학과 기술 2014 55 0
공간적 위상천이를 이용한 고속 형상측정 장치 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 18 0
위상마스크를 사용하는 동시위상천이 간섭계의 위상천이 값 측정 및 보정방법 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 24 0
편광을 이용한 동시위상천이 간섭계의 광학계 정렬에 따른 위상천이 오차 분석 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 18 0
수평 거치 기판을 위한 마하-젠더 레이저 간섭 리소그래피 장치 대한기계학회 춘추학술대회 2012 37 0
멀티모드 광섬유를 이용한 짧은 결맞음 길이의 단색광 생성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 15 0
Ultimate resolution beyond 22 nm half pitch in plasmonic nanopatterning 대한기계학회 춘추학술대회 2012 12 0
Development of Photon Jet Lithography system 대한기계학회 춘추학술대회 2012 9 0
로이드 미러 방식의 레이저 간섭 리소그라피를 이용한 단일 조사 (單一 照射) 이차원 패턴 제작 대한기계학회 춘추학술대회 2011 68 0
정전모터를 이용한 플렉시 유리 디스크의 정밀 위치결정 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 11 0
플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피 기술 기계저널 2011 165 0
마이크로미터 이하 나노 크기의 레이저 직접 묘화 기법 대한기계학회 춘추학술대회 2010 56 0
레이저 미세가공 공정 요소 모니터링 기술 한국정밀공학회지 2010 107 0
반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 31 0
레이저 미세가공 Platform 개발 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008 40 0
고 투과 C형 개구를 이용한 나노 크기 패턴 구현 한국정밀공학회지 2007 39 0
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2 차원 나노패터닝 한국정밀공학회지 2006 107 0
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