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남기수 (Kee Soo Nam)

소속기관
대한전자공학회
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연구경력
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학
  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

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저자의 논문 현황

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  • 논문수75
  • 발행기간1985 ~ 1998
  • 이용수1,143
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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
POCl2 도핑 및 비소 이온주입공정으로 제작한 높은 열적 안정성을 갖는 다결정실리콘 저항소자 특성 ( Characteristics of Polysilicon Resistors with High Thermal Stability Fabricated by POCl3 Doping and Arsenic Implantation ) 전자공학회논문지-D 1998 61 0
Traveling Wave Reactor Atomic Layer Epitaxy를 이용한 ZnS와 ZnS : Tb 박막의 성장과 박막 특성의 연구 Applied Science and Convergence Technology 1998 24 0
Al ( Cu 1% ) 플라즈마 식각후 fluorine 처리에 의한 passivation 막 형성 ( The formation of the passivation layer by the fluorine treatment after Al ( Cu 1% ) plasma etching ) 전자공학회논문지-D 1998 42 0
Atomic Layer Epitaxy를 이용한 Al2O3 유전 박막의 성장과 박막 특성의 연구 대한전자공학회 학술대회 1998 4 0
Effect of HF and In-Situ RF Cleaning on the Growth of TiSi2 대한전자공학회 학술대회 1998 3 0
Integration of High Voltage LDMOS into a Low Voltage CMOS for PDP Driver IC 대한전자공학회 학술대회 1998 2 0
A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition 대한전자공학회 학술대회 1998 1 0
A Study on the Hot Carrier Induced High Frequency Performance Degradation in NMOSFET`s 대한전자공학회 학술대회 1998 1 0
High Q Microwave Integrated Inductors in CMOS Double-Metal Technology Using the Thick-Metal Process 대한전자공학회 학술대회 1998 1 0
ZnCl2 , H2S , Tb ( thd ) 3를 이용한 ZnS , ZnS : Tb 박막의 Traveling Wave Reactor Atomic Layer Epitaxy 성장과 특성 연구 대한전자공학회 학술대회 1998 1 0
An Improvement on P-Channel Sol Ldmos Transistor with Tapered Field Oxides 대한전자공학회 학술대회 1998 0 0
실리콘 트렌치 식각 특성에 미치는 He - O₂ SiF₄ 첨가 가스의 영향 Applied Science and Convergence Technology 1997 70 0
급속열질화에 의한 고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 특성개선 ( Improvement of Thin Oxide Grown by High Pressure Oxidation using Rapid Thermal Nitridation ) 전자공학회논문지-D 1997 21 0
BCl3/SF6 gas chemistries 에 의한 TiW막의 식각특성 연구 ( A Study on the Etching Characteristics of TiW Films using BCl3/SF6 gas chemistries ) 전자공학회논문지-D 1997 48 0
Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS 한국진공학회 학술발표회초록집 1997 9 0
AlCu 플라즈마 식각후 Al 결정입계에서 Al 부식현상 ( Al corrosion phenomena on the Al grain boundary after AlCu plasma etching ) 전자공학회논문지-A 1996 60 0
고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과 ( Thermal Nitridation Effects of Ultrathin Oxides Grown By High Pressure Oxidation ) 대한전자공학회 학술대회 1996 4 0
고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과 대한전자공학회 학술대회 1996 1 0
저전력소모 ISM-band 송수신 MMIC 대한전자공학회 학술대회 1996 1 0
고내압 SOI RESURF 다이오드의 최적 설계에 관한 연구 대한전자공학회 학술대회 1996 0 0
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