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최진석 (Jin-Seog Choi)

소속기관
중소기업기술정보진흥원
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직급
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

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저자의 논문 현황

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  • 논문수52
  • 발행기간1984 ~ 2011
  • 이용수445
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
기계-IT융합과 u-Manufacturing 기술 전자공학회지 2011 94 0
[특집] 생산정보화에 무선 센서 기술의 적용 전자공학회지 2005 17 0
Film Properties of Amorphous TaN and Ta - ( Si ) - N Deposited from Remote Plasma MOCVD 대한전자공학회 학술대회 1997 5 0
분산제어 시스템에서 개방화 구조 설계에 관한 연구 ( A Study of Open Architecture Design on Distributeed Control System ) 대한전자공학회 학술대회 1996 2 0
Annealing and Post Heat Treatment Effects of Remote Plasma MOCVD Titanium Barrier Metals 대한전자공학회 학술대회 1996 1 0
Remote Plasma MOCVD 법을 사용하여 형성된 Titanium Nitride 박막의 Step Coverage 변화에 관한 연구 대한전자공학회 학술대회 1995 8 0
Pt / Ti / SiO2 / Si기관 위에 in-situ로 형성된 PZT박막의 특성과 상형성에 미치는 산소의 영향 대한전자공학회 학술대회 1994 2 0
초고집적 회로용 PZT박막의 형성조건 - 스퍼터링법으로 Si , TiN/Ti/Si 기판위에 증착된 PZT 박막의 급속 열처리에 의한 결정화 및 특성 - ( Formation Conditions of PZT Thin Films for ULSI - A Study on the formation and characteristics of PZT thin films by rapid thermal annealing - ) 전자공학회논문지-A 1993 28 0
형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si 과의 열적 안전성 ( Thermal Stability of TiN/Ti Barrier Metals with Al Overlayers and Si Substrates Modified under Different Annealing Histories ) 전자공학회논문지-A 1993 30 0
Pt / Ti / Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성 ( Formation and Characteristics of PLZT thin film deposited on Pt / Ti / Si substrate ) 대한전자공학회 학술대회 1993 3 0
Excess PbO Target을 사용하여 증착시킨 PZT 박막의 형성및 그 특성 ( Formation and characteristics of PZT thin film deposited by using excess PbO Target ) 대한전자공학회 학술대회 1993 2 0
Pt/Ti/Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성 대한전자공학회 학술대회 1993 2 0
Excess PbO Target을 사용하여 증착시킨 PZT 박막의 형성 및 그 특성 대한전자공학회 학술대회 1993 0 0
DC 반응성 스퍼터링된 TiN 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of Reactively Sputtered Titanium Nitride Films ) 전자공학회논문지-A 1992 52 0
열처리에 따른 TiN/Ti/Si 구조의 열적반응 및 산소원자의 거동에 관한 연구 ( The Thermal Reactin and Oxygen Behavior in the Annealed TiN/Ti/Si Structures ) 전자공학회논문지-A 1992 25 0
Composite Target으로 중착된 Mo-Silicide의 형성 및 이에 따른 불순물의 거동 ( Behavior of the Implanted Dopants and Formation of Molybdenum Silicide by Composite Sputtering ) 대한전자공학회 학술대회 1992 7 0
최적조건에서 형성된 TiN / Ti 구조의 Thermal Stability 에 관한 연구 ( Thermal Stability of Optimized TiN / Ti Barrier Metals with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrates ) 대한전자공학회 학술대회 1992 6 0
Al-1%Si 과 Ti-Silicide의 반응성에 관한 연구 ( A Study on the Reaction of Al-1%Si with Ti-Silicide ) 대한전자공학회 학술대회 1992 4 0
" Stuffed " Barrier Metal 형성조건에 따른 TiN / Ti 의 Al : 1%Si 및 Si 과의 열적 안정성 ( Thermal Stability of " Stuffed " TiN / Ti Diffusion Barriers Formed under Different Thermal History with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrate ) 대한전자공학회 학술대회 1992 3 0
불순물이 주입된 Poly-Si/Single-Si 기판에서 TiSi2 형성시 Dopants의 거동 ( The Behavior off Dopants During the Formation of TiSi2 in the Poly-Si/Single-Si Substrate with Implanted Impurities ) 전자공학회논문지-A 1991 15 0
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