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김용현

소속기관
KAIST
소속부서
플라즈마기술연구센터
직급
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ORCID
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연구경력
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학
  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수16
  • 발행기간1997 ~ 2019
  • 이용수338
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
전자빔을 이용한 N2O 가스의 총산란단면적 측정 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
반도체 제조용 플라즈마 공정 장비의 지능화를 위한 플라즈마 엔지니어링 데이터베이스 플랫폼 개발 현황 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 51 0
Theory of Graphene Single-Atom Catalysts 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 4 0
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 20 0
BN-결함 질화붕소 나노튜브(BN-BNNT)를 활용한 CO₂ 흡착/전환 반응에 대한 이론 계산 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 53 0
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 13 0
Modulated Sputtering System (MSS)의 특성 분석 및 박막 증착 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 12 0
BN-결함 질화붕소 나노튜브(BN-BNNT) 벽면에서의 CO2 흡착/전환 반응에 대한 ONIOM 계산 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012 16 0
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 15 0
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 24 0
웨이블렛 변환을 통한 정전탐침 자료 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2001 7 0
10 ㎸급 Negative High Voltage Pulse Generator에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 1998 15 0
플라즈마 이온주입 방법을 이용한 표면개질 기술의 원리, 장치 및 응용 한국진공학회 학술발표회초록집 1998 73 0
전해조건이 고순도 알루미늄 박 콘덴서의 터널에칭과 정전용량에 미치는 영향 한국표면공학회지 1997 35 0