본문 바로가기

김대철

소속기관
국가핵융합연구소
소속부서
플라즈마기술연구센터
직급
-
ORCID
-
연구경력
-

주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학

저자의 논문 현황

연도별 상세보기를 클릭하시면 연도별 이용수·피인용수 상세 현황을 확인하실 수 있습니다.
피인용수는 저자의 논문이 DBpia 내 인용된 횟수이며, 실제 인용된 횟수보다 적을 수 있습니다.
  • 논문수24
  • 발행기간1999 ~ 2019
  • 이용수375
  • 피인용수0

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
전자빔을 이용한 N2O 가스의 총산란단면적 측정 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
반도체 제조용 플라즈마 공정 장비의 지능화를 위한 플라즈마 엔지니어링 데이터베이스 플랫폼 개발 현황 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 51 0
Low energy electron-induced biomolecular damage 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 1 0
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 20 0
플라즈마 해석을 위한 e+ A&M 반응 이해 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 11 0
Crystallization of an Hydrogenated Amorphous Silicon (a-Si:H) Thin Film by Plasma Electron Annealing 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 15 0
Analysis of Au-DNA Nanowires by Adding HCl to Change Charges of Au Nanoparticles 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 8 0
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 13 0
Modulated Sputtering System (MSS)의 특성 분석 및 박막 증착 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 12 0
중성입자빔과 ICP 플라즈마로 성장시킨 SiON 박막의 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 39 0
수소 중성입자빔을 이용한 실리콘 에칭 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 21 0
ECR Microwave 중성입자빔을 이용한 Si 양자점 형성 및 특성분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 20 0
중성 입자빔 소스의 플라즈마 limiter의 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 18 0
Electron Temperature and Ion Density measurements of an ECR Plasma with Magnetron Magnetic Field Configuration 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 16 0
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 15 0
내부 삽입 직선 안테나를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상 및 불순물 발생 특성 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 13 0
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 24 0
Silicon oxy-nitridation using the hyperthermal neutral beam (HNB) 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 6 0
더보기