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이해준

소속기관
부산대학교
소속부서
전기공학과
직급
교수
ORCID
-
연구경력
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학 TOP 5%
  • 공학 > 전기/제어계측공학
  • 공학 > 항공우주공학
  • 자연과학 > 자연과학일반

저자의 논문 현황

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  • 논문수143
  • 발행기간2003 ~ 2019
  • 이용수5,113
  • 피인용수2

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
PIC-MCC 시뮬레이션을 활용한 CCP 증착 장비에서 플라즈마 균일도와 이온 에너지에 대한 SUSCEPTOR 온도의 효과에 대한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 5 0
반도체 공정 장비 플라즈마 시뮬레이션 연구 동향과 미래 전망 진공이야기 2018 36 0
2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 1 0
Numerical Analysis of the Incident Ion Energy and Angle Distribution in the DC Magnetron Sputtering for the Variation of Gas Pressure Applied Science and Convergence Technology 2018 5 0
반도체 공정용 플라즈마 시뮬레이션 연구의 동향 및 전망 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 55 0
Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 12 0
2D GPU-PIC을 이용한 Capacitively Coupled Plasma 장비 내에서 발생하는 Micro-arc 현상 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 6 0
Comparison of Ar and He atmospheric pressure plasma jets to enhance cutaneous delivery of epidermal growth factor by regulating cell junctions 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 6 0
원통형 좌표계에서의 3차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 diocotron 불안정성 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 4 0
Numerical Modeling of Nano-powder Synthesis in a Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma Torch Applied Science and Convergence Technology 2018 16 0
Numerical Analysis of the Incident ion Energy and Angle Distribution in the DC Magnetron Sputtering for the Variation of Gas Pressure Applied Science and Convergence Technology 2018 6 0
용량성 결합 플라즈마의 이온 에너지 분포 함수 및 이동도에 대한 Particle-in-Cell 및 유체 시뮬레이션의 비교 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 10 0
CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 7 0
증착 공정을 위한 중간 압력 용량결합형 플라즈마 장비에 대한 병렬화된 PIC-MCC 시뮬레이션 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 3 0
Investigation of the Driving Frequency Effect on the RF-Driven Atmospheric Pressure Micro Dielectric Barrier Discharges Applied Science and Convergence Technology 2017 6 0
Hydrophobic and Mechanical Characteristics of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Synthesized by Linear Ar/CH₄ Microwave Plasma Applied Science and Convergence Technology 2017 7 0
Inhibition of atopic dermatitis mice using a non-thermal argon plasma 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 3 0
Simulation of Low Temperature Plasmas for an Ultra Violet Light Source using Coplanar Micro Dielectric Barrier Discharges Applied Science and Convergence Technology 2016 3 0
Enhanced wettability of titanium implants using a non-thermal atmospheric pressure plasma jet 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 6 0
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석 대한전기학회 학술대회 논문집 2016 14 0
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