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이기훈 (Kihun Lee)

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경상대학교
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기계공학부
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주요 연구분야

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저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#abrasive wear(연삭 마모)
#Accelerated Life Test Method
#Bending Strength
#centrifugal force (원심력)
#Chemical mechanical planarization
#Chemical mechanical planarization (화학기계적연마)
#Chemical mechanical planarization (CMP)
#chemical mechanical planarization(화학 기계적 평탄화)
#Chemicla Mechanical Planarization
#CMP
#CMP(Chemical Mechanical Planarization)
#concentration gradient (농도장)
#conditioning simulation(컨디셔닝 시뮬레이션)
#Contact
#Copper
#Copper CMP
#Copper CMP(구리 화학기계적연마)
#Differential Housing
#Electric vehicle reducer(전기차량 감속기)
#Electrical Vehicle
#FEA(finite element analysis)
#Finite Element Method
#Flow rate
#Gear Facewith
#Gear Noise
#Gear Profile Modification
#Gear Train
#Gearbox design(기어박스설계)
#Gearbox(기어박스)
#Hardness(경도)
#In-process
#Interfacial problem
#Interlayer dielectric
#Lubrication (윤활)
#Material removal rate
#Mechanism(메커니즘)
#Multi-nozzle(다중 노즐)
#Multiple spray
#Multiple spray nozzle
#Nano-indentation(나노압입시험기)
#Non-uniformity(연마균일도)
#Oxidation behavior
#Oxygen gas
#Package substrate
#Pad asperity
#Pad conditioning
#pad conditioning(패드 컨디셔닝)
#pad profile(패드 프로파일)
#Pad temperature
#Pad topography
#Parametric Study
#Pattern CMP
#Pattern density
#Pattern size
#Planetary Gear Train
#Polishing pad
#Rear wheel drive system(후륜구동 시스템)
#Reduction gears(감속기어)
#Removal uniformity
#Slurry
#Slurry temperature(슬러리 온도)
#spheroid (세포구상체)
#Spiral Angle
#Spiral Bevel Gear
#Spray nozzle
#Steering Axle
#Strength Evaluation
#Stress analysis
#Structural Analysis
#Surface Durability
#Surface Wear
#Temperature
#Temperature profile
#Thin film surface
#Transmission Error
#Viscoelastic
#Weibull Distribution
#Within Wafer Non-Uniformity
#WIWNU(Within Non-Uniformity)

저자의 논문 현황

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  • 논문수48
  • 발행기간1987 ~ 2019
  • 이용수1,093
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
CMP 컨디셔너의 다이아몬드 입자 모양이 연마 패드 표면 형상 제어에 미치는 영향 Tribology and Lubricants 2019 1 0
전기 자동차용 디프런셜 하우징의 구조해석 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2019 15 0
스파이럴 베벨기어의 강도 설계에 관한 연구 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2019 3 0
열 전달 특성에 기인한 패드 온도 편차 모델링 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 1 0
CMP 공정을 위한 이온화된 슬러리에 의한 구리 막질의 산화거동에 관한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 15 0
CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 10 0
패턴 사이즈 및 패드 돌기의 크기 분포가 ILD CMP 공정 결과에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 4 0
패키지 기판의 평탄화 공정에서 압력편차가 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 3 0
기어 제원 분석을 통한 전기 굴삭기용 주행감속기 강도 설계 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2019 5 0
산화된 표면 경도에 따른 구리 CMP 메커니즘 대한기계학회 춘추학술대회 2018 13 0
3차원 세포구상체 생산 및 약물 농도구배 생성을 위한 원심미세유체기반 플랫폼 대한기계학회 춘추학술대회 2018 9 0
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상 대한기계학회 춘추학술대회 2018 8 0
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018 34 0
구리 CMP 에서 슬러리의 다중 분사를 통한 온도 프로파일 제어 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018 18 0
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018 18 0
기어 치면 마모가 드라이브 액슬의 소음에 미치는 영향 분석 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2018 17 0
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향 한국트라이볼로지학회 학술대회 2018 17 0
전동지게차용 조향 액슬의 가속수명 시험법 개발 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2018 13 0
CMP에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018 12 0
A Study on the Design of Rear Wheel Drive Reducer for Electric Vehicle Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2018 36 0
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