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양지철 (J. C. Yang)

소속기관
삼성전자
소속부서
메모리사업부 C기술팀
직급
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ORCID
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수16
  • 발행기간2002 ~ 2013
  • 이용수1,125
  • 피인용수2

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
CMP 공정용 다이아몬드 컨디셔너의 배열과 마찰신호의 상관관계에 대한 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2013 103 0
60nm급 콜로이달 세리아의 CMP 특성에 관한 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2012 42 0
입자연마가공에서의 압력 속도 및 유체점도의 영향에 대한 고찰 Tribology and Lubricants 2011 157 2
이온주입 시 주입율에 따른 PMOS 트랜지스터의 특성 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010 44 0
CIS 제품 mechanical damage 개선방안에 대한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010 13 0
CMP 공정 중 발생하는 입자 크기와 그 영향에 대한 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010 130 0
Diamond의 접촉 조건에 따른 Polyurethane pad의 마모특성 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010 92 0
CMP 연마패드의 표면형상이 슬러리 간극 거동에 미치는 영향 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010 90 0
세리아 슬러리의 필터 효과에 대한 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010 70 0
단분산 세리아 입자의 화학적 기계연마 특성에 관한 연구 한국트라이볼로지학회 학술대회 2009 113 0
Contact Area Analysis of Chemical Mechanical Planarization Conditioning Abrasives 한국트라이볼로지학회 학술대회 2008 49 0
Effect of Film Thickness on the Tribological Characteristics of Zdol Lubricant on Silicon Surface International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2004 20 0
FDTS와 OTS SAM의 어닐링 온도에 따른 트라이볼로지 특성 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2003 75 0
표면 구조 변화에 따른 응착과 마찰 특성에 관한 연구 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2002 81 0
자기 조립 분자막의 윤활 특성에 관한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002 31 0
Vapor Phase Lubrication을 통한 금속의 마찰 및 마멸 특성 ( Characteristics of Friction and Wear of Metals Under Vapor Phase Lubrication ) Tribology and Lubricants 2002 15 0