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김춘근 (Chun-Keun Kim)

소속기관
한국과학기술연구원
소속부서
나노재료센터
직급
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ORCID
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
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저자의 논문 현황

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  • 논문수11
  • 발행기간1987 ~ 2010
  • 이용수572
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사 대한전자공학회 학술대회 2010 25 0
n채널 SOI MOSFET의 제작과 특성 ( Fabrication and Characterization of the N-Channel SOI MOSFET ) 대한전자공학회 학술대회 1993 25 0
시료이동 ZMR법에 의한 SOI층과 잔류응력 ( SOI Films by the ZMR Method with Movable Sample and Residual Stress ) 전자공학회논문지-A 1992 11 0
Silicon on Insulator 시료의 재결정화법에 의한 보호막기술 ( Characterization and Capping Technique for Zone-Melting-Recrystallization of Silicon on Insulator Films ) 대한전자공학회 학술대회 1991 1 0
흑연 막대 발열체를 이용한 SOI구조의 Zone-Melting 재결정화 연구 ( Zone-Melting Recrystallization of Si Films on SiO2 with a Graphite-Strip-Heater ) 전자공학회논문지 1990 37 0
SOI 소자를 위한 공정 기초연구 대한전자공학회 워크샵 1990 21 0
실리콘 3차원구조 소자를 위한 기반기술 연구 ( Fundamental Study on Technology for 3D Structured Device ) 특정연구 결과 발표회 논문집 1989 12 0
텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층 상의 실리콘 박막 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing of Silicon on Insulator ( SOI ) with a W-Halogen Lamp ) 전자공학회논문지 1988 37 0
산화 적층 결함의 생성 , 성장 및 소멸에 관한 연구 - 제1부 : 산화 적층 결함의 생성과 열적 거동 ( A Study on Nucleation , Growth and Shrinkage of Oxidation Induced Stacking Faults ( OSF ) - Part 1 : Nucleation and Thermal Behavior of Oxidation Induced Stacking Faults ( OSF ) ) 전자공학회논문지 1988 58 0
SiH4/NH3/N2 및 SiH4/NH3/Ar 유량비율이 PECVD SiNx : H 박막의 특성에 미치는 영향 ( Effect of Flow Rate Ratios of SiH4/NH3/N2 and SiH4/NH3/Ar on the Properties of PECVD SiNx : H Films ) 전자공학회논문지 1988 341 0
절연층상에 인을 주입시킨 실리콘 박막의 RTA방법에 의한 재결정화 ( Recrystallization of Phosphorus Ion Implanted Silicon on Insulator ( SDI ) by RTA Method ) 대한전자공학회 학술대회 1987 4 0