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우성일

소속기관
대한전자공학회
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

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저자의 논문 현황

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  • 논문수8
  • 발행기간1988 ~ 1998
  • 이용수157
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
강유전체 구조에 대한 백금전극의 Dry Etching 특성 대한전자공학회 학술대회 1998 2 0
4x4 행렬 연산에서 Fabry-Perot 효과의 제거방법 ( Elimination of Fabry-Perot Effect in 4x4 Matrix Method ) 대한전자공학회 기타 간행물 1997 5 0
메틸 또는 페닐기가 포함된 siloxane SOG 박막의 열처리 특성에 관한 연구 대한전자공학회 학술대회 1994 6 0
실릴화 / 습식 현상을 이용한 새로운 미세 패턴 형성법 ( New-Fine Patterning Method of Positive Photo Resist by Silylation / Wet Develop ) 대한전자공학회 학술대회 1993 8 0
CF4 / O2 가스계에 CO와 CO2 첨가가 텅스텐의 식각 속도 및 선택도에 미치는 영향 ( Effect of CO and CO2 Addition to CF4 / O2 Gas System on the Etch Rate and Selectivity of Tungsten ) 대한전자공학회 학술대회 1991 31 0
PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process ) 전자공학회논문지 1990 52 0
PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process ) 전자공학회논문지 1990 51 0
실리콘 카바이드 박막 제조를 위한 상압 화학증착 공정의 수치모사화 연구 ( Modelling and Simulation Study on Chemical Vapor Deposition Process for Silicon Carbide Film ) 대한전자공학회 학술대회 1988 2 0