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이문용

소속기관
한국콘텐츠학회
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학
  • 복합학 > 학제간연구

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
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저자의 논문 현황

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  • 논문수15
  • 발행기간1990 ~ 2007
  • 이용수241
  • 피인용수2

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
NGC 영상시스템 기반의 패턴 결함검출기 설계 한국콘텐츠학회 종합학술대회 논문집 2007 61 1
0.25mm Gate CD Control을 위한 노광장치 조명계 최적화에 대한 연구 대한전자공학회 학술대회 1998 5 0
Metal Bit-Line Contact with CoSi2 Ohmic Layer for Scaled Stacked Capacitor DRAM Devices 대한전자공학회 학술대회 1998 2 0
초박막 Al2O3의 FRAM EBL ( Encapsulating Barrier Layer ) 특성 고찰 대한전자공학회 학술대회 1998 0 0
DUV Iithography용 새로운 반사방지막 연구 ( Study on Characteristics of Ge Based ARL for DUV Lithography ) 대한전자공학회 워크샵 1997 37 0
SiO2 박막증착에 의한 Pt / Pb ( Zr , Ti ) O3 / Pt 캐패시터의 강유전 특성 약화와 회복 방법에 관한 연구 ( Degradation and Recovery in the Ferroelectric Properties of Pb / Pt ( ZRTi ) O3Pt Capacitor caused by SiO2 Film Deposition ) 대한전자공학회 워크샵 1997 32 0
Ta2O5 Capacitor전극으로의 PECVD-WNx박막 적용 연구 ( Application of PECVD-WNX Electrode for Ta2O5 Capacitor ) 대한전자공학회 워크샵 1997 17 0
고집적 회로의 트렌치 소자분리를 위한 매립 산화물의 치밀화 연구 ( Densification of the Filled Oxide for VLSI Shallow Trench Isolation ( STI ) ) 대한전자공학회 워크샵 1996 28 0
스퍼터링 공정에 의하여 제작된 Pt / ( Ba , Sr ) TiO3 / Pt Capacitor의 계면 전위 장벽 특성 ( Interface Potential Barrier Height of Pt / ( Ba , Sr ) TiO3 / Pt Capacitors Fabricated by Sputtering Process ) 대한전자공학회 워크샵 1996 22 0
Side Band 모드 억제에 의하여 안정화된 펄스 플라즈마의 특성 ( Characteristics of Stabilized Pulsed Plasma via Suppression of Side Band Modes ) 대한전자공학회 워크샵 1996 18 0
The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon 대한전자공학회 학술대회 1996 1 0
Remote Plasma MOCVD 법을 사용하여 형성된 Titanium Nitride 박막의 Step Coverage 변화에 관한 연구 대한전자공학회 학술대회 1995 8 0
화학 공정에서의 운전 안정성 향상을 위한 고전적 제어기법 활용연구 ( Industrial Application of Classical Control Techniques for the Stable Operation of Chemical Processes ) 대한전자공학회 학술대회 1994 1 0
0 .5 μm 이하의 미세형상 가공 기술에 대한 비교 분석 전자공학회지 1991 8 0
신경제어기를 이용한 증류탑의 제어에 관한 연구 ( A Study of Distillation Column Control by Using a Neural Controller ) 대한전자공학회 학술대회 1990 1 0