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장의구 (Eui-Goo Chang)

소속기관
대한전자공학회
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

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저자의 논문 현황

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  • 논문수9
  • 발행기간1987 ~ 2000
  • 이용수94
  • 피인용수0

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    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas ) 전자공학회논문지-SD 2000 39 0
유도 결합 BCI3 / CI2 플라즈마내에서 Pt 박막의 건식 식각 ( Dry Etching of Pt Thin Film in Inductive Coupled BCI3 / CI2 Plasmas ) 대한전자공학회 학술대회 1998 0 0
유도 결합 BCI₃/CI₂ 플라즈마내에서 Pt 박막의 건식 식각 대한전자공학회 학술대회 1998 1 0
Al ( Cu 1% ) 플라즈마 식각후 fluorine 처리에 의한 passivation 막 형성 ( The formation of the passivation layer by the fluorine treatment after Al ( Cu 1% ) plasma etching ) 전자공학회논문지-D 1998 42 0
Effect of the Fluorine Treatment for the Reduction of Al ( Cu 1% ) Corrosion After Plasma Etching 대한전자공학회 학술대회 1997 2 0
질화된 MOS커패시터의 C-T특성 ( C-T Characteristics of Nitridized MOS Capacitor ) 대한전자공학회 학술대회 1988 0 0
RTN에 의해 제작된 MOS 소자의 C-V 특성 ( C-V Characteristics of MOS Devices by Rapid Thermal Nitridation ( RTN ) ) 대한전자공학회 학술대회 1988 0 0
MOS Device의 Surface State Charge 밀도의 측정 ( The Measurements of Surface State Charge Density in MOS Device ) 대한전자공학회 학술대회 1987 7 0
MOS 소자의 특성에 어닐링 방법이 미치는 영향 ( Effects of Annealing Method in MOS Devices Properties ) 대한전자공학회 학술대회 1987 3 0