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최부연 (Boo Yeon Choi)

소속기관
대한전자공학회
소속부서
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직급
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

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  • 논문수11
  • 발행기간1986 ~ 1996
  • 이용수15
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process 대한전자공학회 학술대회 1996 1 0
MERIE 시스템에서 웨이퍼 온도변화에 따른 공정 성능의 영향 ( Effects of wafer temperature variation on process performances in MERIE system ) 대한전자공학회 학술대회 1994 3 0
MERIE 시스템에서 웨이퍼 온도 변화에 따른 공정 성능의 영향 대한전자공학회 학술대회 1994 2 0
KrF 형성의 완충기체 영향에 대한 이론적 해석 ( Theoretical Analysis of the Buffer Gas Effects in a KrF Formation ) 대한전자공학회 학술대회 1990 3 0
방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 증폭특성 ( A Study of Amplification for Discharge Excited KrF Excimer Laser ) 대한전자공학회 학술대회 1990 0 0
방전여기 KrF 레이저 장치의 방전 특성 해석 ( The Analysis of Discharge Characteristics for Discharge Excited KrF Laser System ) 대한전자공학회 학술대회 1988 1 0
레이저 여기용 Fuse Type Inductive Energy Storage System의 개발 ( Development of Fuse Type Inductive Energy Storage System for Laser Excitation ) 대한전자공학회 학술대회 1988 0 0
전자빔 여기 KrF / XeCl 레이저의 개발 ( Development of Electron-Beam Excited KrF / XeCl Lasers ) 대한전자공학회 학술대회 1987 3 0
전자빔 여기 KrF 및 XeCl 레이저의 반응기구 해석 ( Analysis Of Reaction Kinetics For E-Beam KrF And XeCl Lasers ) 대한전자공학회 학술대회 1987 1 0
용량이행형 방전여기 KrF 레이저의 개발 ( Development of Discharge-pumped KrF Laser with Charge Transfer Type ) 대한전자공학회 학술대회 1987 0 0
전자빔 여기 rare gas halogen eximer 레이저 출력의 불소농도 의존성 ( Dependence on Fluorine Concentration for Output Performance of Electron Beam Excited Rare Gas Halogen Eximer Lasers ) 대한전자공학회 학술대회 1986 1 0