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양승국 (Seung-kook Yang)

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주요 연구분야

  • 공학 > 전자/정보통신공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#E Mode
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#hydrogen plasma
#negativeion
#Photoresist stripping

저자의 논문 현황

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  • 논문수20
  • 발행기간2001 ~ 2014
  • 이용수582
  • 피인용수0

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
450mm 웨이퍼 플라즈마 반응 챔버의 최적 구조를 위한 유체해석 시뮬레이션 대한전자공학회 학술대회 2014 69 0
Hydrogen Plasma Characteristics for Photoresist Stripping Process in a Cylindrical Inductively Coupled Plasma JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE 2013 42 0
플라즈마 반응로에서 반응체의 균일한 흐름을 위한 유동해석 대한전자공학회 학술대회 2013 53 0
애셔 공정에서 플라즈마에 의한 베플 열변형 방지 구조 대한전자공학회 학술대회 2013 32 0
홀로우캐소드플라즈마의 듀얼챔버에 대한 중성입자 유동해석 대한전자공학회 학술대회 2011 29 0
O₂와 N₂ 플라즈마를 이용한 감광제의 패턴 축소 연구 대한전자공학회 학술대회 2009 40 0
O₂와 N₂ 플라즈마를 이용한 감광제의 패턴 축소 연구 대한전자공학회 학술대회 2009 6 0
MEMS packaging을 위한 Micro PDMS pad 제작 대한전자공학회 학술대회 2008 68 0
Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작 대한전자공학회 학술대회 2008 36 0
MEMS packaging을 위한 Micro PDMS pad 제작 대한전자공학회 학술대회 2008 20 0
Fabrication of Multilevel layers for Optical Printed Circuit Board by Modified Two-step Photolithography ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications 2008 18 0
Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작 대한전자공학회 학술대회 2008 11 0
E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구 대한전자공학회 학술대회 2007 18 0
E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구 대한전자공학회 학술대회 2007 16 0
적응형 보쉬공정(Adaptive Bosch Process)을 이용한 식각된 바닥면 연구 대한전자공학회 학술대회 2007 10 0
적응형 보쉬공정(Adaptive Bosch Process)을 이용한 식각된 바닥면 연구 대한전자공학회 학술대회 2007 7 0
Antenna structure를 이용한 MIS(TaN/HfO₂/Si) capacitor의 plasma damage 연구 대한전자공학회 학술대회 2006 28 0
Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법 대한전자공학회 학술대회 2006 15 0
High-k 유전박막 MIS 커패시터의 플라즈마 etching damage에 대한 연구 대한전자공학회 학술대회 2003 37 0
스페클 패턴을 이용한 침입자 센서 ( The Intrusion Sensor Using the Variations of Speckle Patterns ) 전자공학회논문지-SD 2001 27 0