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이원오

소속기관
성균관대학교
소속부서
신소재공학과
직급
-
ORCID
-
연구경력
-

주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학
  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수11
  • 발행기간2017 ~ 2020
  • 이용수102
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 1 0
이온빔을 이용한 Cr 원자층 식각 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 15 0
Study on Cyclic Dry Cleaning Process using OF₂/NH₃ Remote Plasma 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 4 0
할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018 11 0
Etch Characteristics of Silicon-based Materials using ClF₃/NxO Mixture Gases 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 1 0
차세대 배선공정을 위한 Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering을 이용한 텅스텐 막막 특성에 관한 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018 9 0
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 30 0
이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 14 0
He을 이용한 magnetic tunneling junction 물질의 식각 특성 향상 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 7 0
Improvement of adhesive force between metal and composite materials using plasma press method 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 2 0
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 8 0