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김기석

소속기관
성균관대학교
소속부서
공과대학 신소재공학과
직급
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ORCID
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연구경력
-

주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학 TOP 5%
  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수20
  • 발행기간1992 ~ 2019
  • 이용수689
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 6 0
리모트 타입의 ICP를 이용한 MoS₂의 chlorine doping 및 전기적 특성변화에 대한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 0 0
EUVL 펠리클 제작을 위한 다층 그래핀 성장 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 53 0
리모트 유도결합 플라즈마를 이용한 MoS2 의 chlorine doping 및 전기적 특성변화 고찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 6 0
리모트 타입의 유도결합 플라즈마를 이용한 이황화 몰리브덴 (MoS2) 의 chlorine doping 에 관한 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018 7 0
Nitriding process for semiconductor devices by using a multi-electrode VHF (162 MHz) plasma source 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 2 0
바일금속 내에서의 옴의법칙의 깨짐 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 495 0
VHF (162 MHz) multi-tile push-pull 플라즈마 소스를 이용한 반도체소자의 질화 공정 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 9 0
Damage - Free Layer Control of MoS2 Using Atomic Layer Etching 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 7 0
Silicon nitride deposition for flexible organic electronic devices by very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition using a multi-tile push-pull plasma source 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 4 0
Layer-by-layer Control of MoS2 Thickness by ALET 한국진공학회 학술발표회초록집 2015 12 0
Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014 11 0
Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014 4 0
이온 에너지 분석을 통한 저손상 그래핀 클리닝 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 29 0
CAICISS study for the buckled Si(001) surface structure 한국진공학회 학술발표회초록집 1997 0 0
Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy CAICISS) 장비를 이용한 ultra - thin Au / Si(001) 계의 구조 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 1995 8 0
CAICISS(Coaxial Impact Collisison Ion Scattering Spectroscopy) 장비를 이용한 Au / Si(001) 의 원자구조 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 1994 9 0
Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy system 제작 및 그 특성 한국진공학회 학술발표회초록집 1992 7 0
귀환 회로를 이용한 Kelvin Probe 제작 및 그 응용 한국진공학회 학술발표회초록집 1992 20 0