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이순영 (Soun-Young Lee)

소속기관
하이닉스반도체 연구소
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

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저자의 논문 현황

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  • 논문수21
  • 발행기간1999 ~ 2008
  • 이용수704
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
TEM 분석 기법을 이용한 Cu확산 현상에 대한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2008 51 0
HR-XRD로 측정된 Si1-xGex 에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증 한국진공학회 학술발표회초록집 2007 56 0
고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현 한국진공학회 학술발표회초록집 2007 21 0
XPS를 이용한 ㎚급 산화막 박막 두께 측정법 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2004 125 0
XRR을 이용한 ALD HfxAlyOz 박막의 물성 변화 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2004 58 0
XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film 한국진공학회 학술발표회초록집 2004 40 0
W / Si 조성 변화에 따른 WSix film의 XRR / XRF 두께 측정 결과 비교 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 100 0
Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 38 0
Liquid Delivery MOCVD 방법으로 제조된 RuOx 박막의 미세구조와 전기적 특성 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 12 0
Ar+-ion Bombardment가 Bi - 계 박막의 조성과 화학 결합 상태에 미치는 영향 평가 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 6 0
Accurate SIMS Depth Profiling of Ultra Shallow Phosphorus & Arsenic by Oxygen Flooding 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 3 0
X - ray reflectivity를 이용한 Ta₂O5박막의 열처리에 따른 두께와 평균전자밀도 변화 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 31 0
Auger Electron Spectroscopy(AES)를 이용한 실리콘 산화막에 대한 전자빔 손상 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 66 0
Silicidation 및 후속 열공정에 따른 Binding Energy Shift 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 48 0
Magnetic Sector SIMS을 이용한 Ultra Thin Oxynitride Film 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 7 0
Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 4 0
Magnetic Sector SIMS의 Sample Holder위치에 따르는 RSF (Relative Sensitivity Factor) 변화 검증 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 24 0
이온주입 에너지에 따른 Auger Si KLL Peak Shift 및 Ti 계열 화합물의 Chemical State 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 6 0
이온 주입에 따른 Oxide 성장 거동 고찰 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 5 0
SBT 박막의 AES 정량화 및 Ar Ion Damage 에 의한 BixOy 에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 2 0
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