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염근영

소속기관
성균관대학교
소속부서
SKKU Advanced Institute of Nano technology
직급
교수
ORCID
-
연구경력
-

주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학 TOP 1%
  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수332
  • 발행기간1994 ~ 2020
  • 이용수5,887
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게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 2 0
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 1 0
Chlorine 도핑을 통한 MoS₂ 일함수 조절 및 광전특성 변화에 대한 고찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 1 0
Effects of pulsed inductively coupled Cl₂/Ar plasma for the etching of Si nanostructure 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 1 0
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 1 0
낮은 GWP의 C₃H₂F6 기반 화합물의 Ultra Low-k Dielectirc 식각 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
대기압 플라즈마를 이용한 필터링 기능 향상 목적의 글루코스 코팅 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
Cyclic Dry Cleaning Process of silicon oxide using OF₂/NH₃ Mixture Gas 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
Reactive Ion Beam Etching of CoFeB for Non-volatile Magnetic Random Access Memories 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
Reactive Ion Etching of Ovonic Threshold Switch (OTS) Material using Hydrogen based Plasmas for PRAM device 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 0 0
필터 기능 목적의 대기압 플라즈마 코팅 모듈을 이용한 글루코스 코팅 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019 1 0
Ultra-thin invisible Ag nano-mesh electrode 제조에 대한 연구 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019 0 0
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System Applied Science and Convergence Technology 2019 15 0
A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄ Applied Science and Convergence Technology 2019 13 0
CBr₂F₂ 플라즈마를 이용한 반도체 물질의 식각 특성 분석 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 17 0
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 6 0
Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 6 0
Ar/CxF2xO(X=3,6) 혼합가스를 이용한 친환경 SiO₂ 식각 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 4 0
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