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송세안 (Se Ahn Song)

소속기관
삼성전자종합기술연구원
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#Ge-Sb-Te
#N-doped GST
#PRAM

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  • 논문수13
  • 발행기간1992 ~ 2013
  • 이용수493
  • 피인용수0

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  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
Nitrogen을 도핑시킨 Ge-Sb-Te 박막의 광전자 및 광흡수 분광학 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2013 12 0
Self - Assembled (Inl - xMnx)As diluted magnetic semiconductor QDs grown by RFMBE 한국진공학회 학술발표회초록집 2005 6 0
ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구 Applied Science and Convergence Technology 2000 108 0
이차전지 양극활물질의 chemical state 측정을 위한 X - ray Induced Electron Emission Spectroscopy (XIEES)의 활용 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 19 0
ULSI용 Cu 박막의 미세조직 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 4 0
TEM Study of GaN Thick Film Crystals Grown by HVPE 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 19 0
X - ray Induced Electron Emission Spectroscopy (XIEES) 개발 및 응용 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 2 0
Development of a new XIEES system for materials analysis 한국진공학회 학술발표회초록집 1998 2 0
고품위 다이아몬드 박막의 증착과 박막 성장 양식 Applied Science and Convergence Technology 1994 57 0
초고진공 전자 사이클로트론 화학 기상 증착 장치에 의한 저온 실리콘 에피 성장에 기판 DC 바이어스가 미치는 영향 Applied Science and Convergence Technology 1993 28 0
Deposition Mechanism of Tungsten thin Film in LPCVD System Applied Science and Convergence Technology 1993 50 0
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착 Applied Science and Convergence Technology 1992 166 0
The Study of W Deposition on Si Substrate by SiH₄ Reduction of WF6 LPCVD System 한국진공학회 학술발표회초록집 1992 20 0