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박윤백

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하이닉스 반도체
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주요 연구분야

  • 자연과학 > 물리학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#cluster ion
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#TiCl4 TiN

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  • 논문수14
  • 발행기간1999 ~ 2012
  • 이용수384
  • 피인용수0

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    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
SIMS Depth Profiling Analysis of Cl in TiCl₄ Based TiN Film by Using ClCs₂⁺ Cluster Ions 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 33 0
Improvement of Depth Profiling Analysis in HfxOy/AlxOy/HfxOy structure with Sub 10 ㎚ by Using Low Energy SIMS 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 16 0
Backside SIMS 및 AES Rotation Sputtering 기법 적용을 통한 Cu Barrier Metal 안정성 검증 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 16 0
Characterization of the Interface & ZrO₂ film fabricated by Atomic Layer Deposition method 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 13 0
HR-XRD로 측정된 Si1-xGex 에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증 한국진공학회 학술발표회초록집 2007 56 0
고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현 한국진공학회 학술발표회초록집 2007 21 0
XRR을 이용한 ALD HfxAlyOz 박막의 물성 변화 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2004 58 0
XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film 한국진공학회 학술발표회초록집 2004 40 0
Ar+-ion Bombardment가 Bi - 계 박막의 조성과 화학 결합 상태에 미치는 영향 평가 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 6 0
Accurate SIMS Depth Profiling of Ultra Shallow Phosphorus & Arsenic by Oxygen Flooding 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 3 0
Auger Electron Spectroscopy(AES)를 이용한 실리콘 산화막에 대한 전자빔 손상 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 66 0
Silicidation 및 후속 열공정에 따른 Binding Energy Shift 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 48 0
이온주입 에너지에 따른 Auger Si KLL Peak Shift 및 Ti 계열 화합물의 Chemical State 관찰 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 6 0
SBT 박막의 AES 정량화 및 Ar Ion Damage 에 의한 BixOy 에 관한 연구 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 2 0