| 반도체 제조용 플라즈마 공정 장비의 지능화를 위한 플라즈마 엔지니어링 데이터베이스 플랫폼 개발 현황 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2019 |
67 |
67 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| 전자빔을 이용한 N2O 가스의 총산란단면적 측정 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2019 |
3 |
3 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| Plasma Diagnostics using Optical Emission Spectroscopy on Argon Capacitively Coupled Plasma with Various Line-of-Sight |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2019 |
1 |
1 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| 플라즈마-빅데이터 융합기술 개발 사례 |
제어로봇시스템학회지 |
2017 |
90 |
20 |
36 |
34 |
0 |
0 |
0 |
| 논문·특허 데이터 기반 연구전략 수립 연구 |
한국기술혁신학회 학술대회 |
2017 |
73 |
35 |
38 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| 전해질 온도에 따른 알루미늄 양극산화 피막의 특성 및 불소계 플라즈마 부식에 미치는 영향 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2017 |
26 |
10 |
13 |
3 |
0 |
0 |
0 |
| 전자 에너지분포함수 비교를 통한 플라즈마 데이터베이스 개발 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2017 |
17 |
11 |
6 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| Silicon oxide etching studies in inductively coupled fluorocarbon plasmas |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2017 |
3 |
1 |
2 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| Data production and study of ionization cross section for CxFy fluorocarbons |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2017 |
1 |
1 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| 컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2016 |
40 |
9 |
18 |
5 |
8 |
0 |
0 |
| Density Functional Theory Calculations for Chemical Reaction Mechanisms of C₄F8 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2015 |
7 |
1 |
1 |
2 |
3 |
0 |
0 |
| Current status of Atomic and Molecular Data for Low-Temperature Plasmas |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2015 |
2 |
1 |
0 |
0 |
1 |
0 |
0 |
| 논문 분석을 통한 플라즈마 기술 동향 도출 |
한국기술혁신학회 학술대회 |
2014 |
183 |
18 |
19 |
27 |
61 |
58 |
0 |
| 플라즈마물성데이터에서 빅데이터 분석 기술의 활용 |
한국정보과학회 학술발표논문집 |
2014 |
55 |
1 |
5 |
9 |
9 |
18 |
13 |
| AHP를 이용한 거대과학 산업 생태계 활성화 전략의 우선순위 결정에 관한 연구 |
한국기술혁신학회 학술대회 |
2013 |
90 |
11 |
17 |
13 |
20 |
20 |
9 |
| 반도체 식각 공정용 공간 평균 시뮬레이터 및 데이터베이스 개발 |
한국표면공학회 학술발표회 초록집 |
2013 |
24 |
8 |
5 |
4 |
7 |
0 |
0 |
| [분과초청] The Study of DNA Damage Induced by Atmospheric Pressure Plasma Jet and Their Mechanisms |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2013 |
7 |
2 |
0 |
1 |
1 |
1 |
2 |
| 핵융합 기술 정보시스템 개발을 위한 원자 및 분자 데이터베이스 구축에 관한 연구 |
한국정보과학회 학술발표논문집 |
2012 |
26 |
6 |
1 |
4 |
6 |
2 |
7 |
| GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2012 |
21 |
1 |
1 |
3 |
3 |
5 |
8 |
| Plasma 물성 참조데이터를 위한 XML Schema 설계 |
한국정보과학회 학술발표논문집 |
2012 |
16 |
0 |
2 |
0 |
3 |
2 |
9 |
| Plasma Chemistry Data Research for Plasma Applications |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2012 |
16 |
2 |
1 |
3 |
0 |
6 |
4 |
| 포털(Portal) 기반 핵융합에너지 지식관리시스템 설계 |
한국정보과학회 학술발표논문집 |
2011 |
64 |
2 |
3 |
3 |
21 |
12 |
23 |
| 수소 중성입자빔을 이용한 실리콘 에칭 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2011 |
21 |
3 |
3 |
1 |
2 |
1 |
11 |
| ECR Microwave 중성입자빔을 이용한 Si 양자점 형성 및 특성분석 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2011 |
20 |
1 |
1 |
1 |
0 |
1 |
16 |
| Atomic and Molecular Data Research for Plasma Applications |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2010 |
19 |
5 |
0 |
0 |
5 |
1 |
8 |
| 환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2009 |
15 |
0 |
0 |
0 |
1 |
1 |
13 |
| Atomic and Molecular Database for Plasma Applications |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2009 |
7 |
3 |
0 |
2 |
0 |
0 |
2 |
| DC 글로우 방전에서 Hα / Hβ 비를 이용한 전자온도와 밀도의 계산 및 측정 |
한국진공학회 학술발표회초록집 |
2004 |
9 |
0 |
4 |
0 |
0 |
0 |
5 |