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이후상 (H. S. LEE)

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한국기계연구원
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주요 연구분야

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#3-D artifact
#3-D self-calibration
#5-axis Stage(5 축 스테이지)
#대면적미세형상
#미세가공지능화
#미세성형
#미세절삭가공
#미세형상설계지능화
#복합가공기
#전자빔 가공기(Electron Beam Lithography)
#진공게이지(Vacuum Gauge)
#진공밸브(Vacuum Valve)
#진공제어(Vacuum Control)
#Air bearing
#Air Bearing(공기 베어링)
#Angular error(각도 오차)
#Axis-symmetric type
#Blu-ray
#calibration
#CMM
#Correction method
#Coupling
#Degree of vacuum(진공도)
#diamond pellet
#Differential exhaust system
#Differential exhaust system(자동배기시스템)
#Differential exhaust system(차동배기시스템)
#Electron beam
#Eletron Beam Lithography(전자빔 가공기)
#Error compensation(오차 보상)
#Failure distribution
#Failure mode
#Failure rate
#Failure rate database
#Feeding system
#FEM analysis(유한요소해석)
#Fine pattern
#Form error
#Genetic algorithm
#Genetic algorithm(유전 알고리즘)
#gimbals-like structure(적응형 힌지구조)
#Grinding
#Hydrostatic guide
#Hydrostatic journal bearing(유정압저어널베어링)
#Large mirror
#Large optical mirror
#Laser interferometer(레이저 간섭계)
#Leakage Analysis(누설량 해석)
#Leakage analysis(누출량 해석)
#Light interference measurement
#Linear motor
#Load characteristics(부하특성)
#Mastering
#Mean time between failures
#on-machine measurement
#optical fabrication(광학제조기술)
#Optical surface
#Optimal design
#Optimal design(최적 설계)
#Polishing
#Polishing head(연마헤드)
#Polishing machine
#Positioning accuracy(위치결정정도)
#Positioning resolution
#Precision stage(정밀 스테이지)
#Rectangular type capillary(직사각형 모세관)
#Reliability assessment
#Reliability evaluation
#Reliability prediction
#Reliability test
#Rotation table
#Self compensating type(자기보상형)
#small tool polishing(소형공구 연마방식)
#Straightness measurement(진직도 측정)
#Tool post
#Twist-roller friction drive
#Ultraprecision machine tool
#Ultra-Precision Stage(초정밀 스테이지)
#Vacuum Environment(진공환경)
#Vacuum Pressure(진공압력)
#Vacuum Stage(진공 스테이지)
#Vacuum-compatible air bearing
#Vacuum-compatible air bearing(진공용 공기베어링)

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  • 논문수108
  • 발행기간1985 ~ 2009
  • 이용수4,864
  • 피인용수2

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