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신소민 (Somin Shin)

소속기관
부산대학교
소속부서
기계공학부
직급
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 기계공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#Atomization
#blade cooling(블레이드 냉각)
#Break-in
#Chemical mechanical planarization
#Chemical mechanical planarization (화학 기계적 평탄화 공정)
#Chemical mechanical planarization (화학기계적연마)
#CMP pad
#CMP(Chemical mechanical planarization)
#CMP(Chemical Mechanical Planarization)(화학적 기계적 평탄화)
#Contact condition
#Convective Heat Transfer(대류 열전달)
#Copper
#Copper CMP(구리 화학기계적연마)
#Copper pattern
#Dishing
#Distribution of asperity height (돌기 높이 분포)
#Finite Element Method
#Hardness(경도)
#Hue Detection(색상 검출)
#impingement cooling(충돌 냉각)
#Interfacial problem
#Interlayer dielectric
#Lubrication (윤활)
#Material removal rate
#Mathematical model
#Mathematical modeling
#Mathematical modeling (수학적 모델링)
#Mechanism(메커니즘)
#Modeling(모델링)
#Multi-nozzle(다중 노즐)
#Nano-indentation(나노압입시험기)
#Non-uniformity(연마균일도)
#Oxidation behavior
#Package substrate
#Pad asperity
#Pad asperity (패드 돌기)
#Pad asperity(패드 돌기)
#Pattern density
#Pattern size
#Pattern size (패턴 크기)
#Pressure distribution(압력 분포)
#Real contact area
#Slurry
#Slurry supply system
#Slurry temperature(슬러리 온도)
#staggered jets(엇갈린 제트)
#Stress analysis
#Technique
#Temperature
#thermal performance factor(열성능비)
#Thin film surface
#Transient Liquid Crystals(천이 액정법)

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  • 논문수13
  • 발행기간2007 ~ 2020
  • 이용수202
  • 피인용수5

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