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신소민 (Somin Shin)

소속기관
부산대학교
소속부서
기계공학부
직급
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ORCID
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 기계공학

저자의 논문 현황

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  • 논문수11
  • 발행기간2007 ~ 2019
  • 이용수161
  • 피인용수4

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 0 0
CMP 가공시간과 패턴 사이즈 효과를 고려한 수학적 모델링 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 0 0
CMP 에서 연마 패드의 접촉 조건에 따른 수학적 모델 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 0 0
CMP 공정을 위한 이온화된 슬러리에 의한 구리 막질의 산화거동에 관한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 15 0
패키지 기판의 평탄화 공정에서 압력편차가 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 3 0
패턴 사이즈 및 패드 돌기의 크기 분포가 ILD CMP 공정 결과에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 3 0
산화된 표면 경도에 따른 구리 CMP 메커니즘 대한기계학회 춘추학술대회 2018 13 0
CMP에서 패드의 미세돌기 변형을 고려한 연마율 모델링 대한기계학회 춘추학술대회 2018 9 0
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상 대한기계학회 춘추학술대회 2018 7 0
색상 검출방식의 천이 액정법에서 색상 변화 시간 산정의 정확도 향상 대한기계학회 논문집 B권 2007 68 4
이중 충돌 제트를 갖는 사각 덕트 내의 열전달 계수 측정 대한기계학회 춘추학술대회 2007 43 0