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이창석 (C. S. Lee)

소속기관
부산대학교
소속부서
기계공학부 정밀가공시스템
직급
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연구경력
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주요 연구분야

  • 공학 > 기계공학

저자의 연구 키워드

저자가 작성한 논문들의 주요 키워드입니다.

저자의 연구 키워드
#흉부 연성조직기준값(Rib Viscous Criterion)
#Abrasive size
#Abrasive Wear
#AE-MDB
#AE-MDB(Advanced European-Mobile Deformable Barrier)
#Cadmium telluride (카드뮴 텔룰라이드)
#Cadmium telluride(카드뮴 텔룰라이드)
#CeO2
#Ceramics material
#Chemical mechanical planarization(화학적 기계적 평탄화)
#Chemical mechanical polishing
#Chemical mechanical polishing (화학 기계적 연마)
#Chemical mechanical polishing (화학적 기계적 연마)
#Chemical Mechanical Polishing(화학기계연마)
#CMP
#Diluted silica slurry (DSS)
#dipping
#Ductile material
#Edge profile
#Experimental Method Design
#Far Side Injury
#Feed Rate
#Grinding
#Grinding force
#Hardness
#Head Injury(머리 상해기준)
#Hydrogen peroxide
#Hydrogen peroxide (과산화수소)
#Hydrogen peroxide(과산화수소)
#Inner Diameter of Retainer Ring
#Intelligent pad (지능형 패드)
#Kinematic Motion
#KNCAP
#Material removal
#Material removal rate (재료제거율)
#Material removal rate(재료 제거율)
#Mathematical model
#Metal CMP
#Mixed Abrasive Slurry (MAS)
#Monitoring system (모니터링 시스템)
#Monitoring System(모니터링시스템)
#New car Assessment Program(자동차 안전도평가 제도)
#pH
#polishing
#pressure condition
#Pressure distribution (압력분포)
#Pressure sensor
#Pressure Sensor(압력센서)
#Real Contact Area
#Real Contact Pressure
#Removal rates
#Rib deflection(흉부 압축 변위량)
#RPM
#Sapphire
#SiC
#Side Impact
#Side Impact Test(측면충돌 시험)
#Side Pole Test(기둥 측면 충돌)
#Slurry
#Star Rating
#Surface characteristics
#Surface roughness (표면 거칠기)
#Ultrasonic
#Ultrasonic grinding
#Uniformity(균일도)
#Wafer Edge Profile
#Wear Theory

저자의 논문 현황

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  • 논문수24
  • 발행기간2009 ~ 2016
  • 이용수1,106
  • 피인용수0

논문제목를 인용한 논문목록입니다.

  • 피인용 논문 제목
    • 피인용 논문 저자
게시판 목록
논문명 저널명 발행연도 이용수 피인용수
CMP 에서 리테이너 링의 내경이 웨이퍼 에지 프로파일에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016 54 0
웨이퍼 에지의 압력 모니터링을 이용한 재료 제거 프로파일의 예측 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 14 0
연성재료 초음파 연마에서 압력조건이 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 7 0
카드뮴 텔룰라이드 CMP 공정에서 산화제가 연마에 미치는 영향 한국정밀공학회지 2015 33 0
초음파 연삭의 재료제거 모델 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 23 0
산화제 첨가에 따른 카드뮴 텔룰라이드 화학적 기계적 연마의 재료 제거 메커니즘 대한기계학회 춘추학술대회 2014 23 0
CMP공정에서 Intelligent Pad를 이용한 압력분포 해석 대한기계학회 춘추학술대회 2013 37 0
카드뮴 텔룰라이드의 재료 제거율에 대한 과산화수소수 영향 대한기계학회 춘추학술대회 2013 12 0
실험계획법을 이용한 초음파 연삭 특성 평가 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 27 0
Analysis of pressure distribution due to rotation speed in chemical mechanical polishing of 6inch wafer 대한기계학회 춘추학술대회 2013 9 0
CMP 공정의 압력 모니터링 시스템 대한기계학회 춘추학술대회 2012 40 0
연마 입자 크기가 사파이어 CMP에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 107 0
희석된 혼합연마 슬러리의 Cu CMP 특성에 관한 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 66 0
대면적 마이크로 패턴을 위한 Roll CMP 장비 개발 대한기계학회 춘추학술대회 2012 42 0
AE-MDB를 이용한 측면충돌안전성 평가시 인체상해 특성에 관한 연구 한국자동차공학회 춘계학술대회 2012 110 0
측면충돌시 운전석 및 조수석 탑승자 상해 특성에 관한 실험적 연구 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 50 0
초음파 연삭에 의한 세라믹 재료의 표면 특성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 39 0
산화제 첨가에 의한 SiC의 CMP 특성의 개선 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 65 0
실접촉압력분포가 연마특성에 미치는 영향 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 40 0
마멸이론을 이용한 초음파연삭 시스템의 개발 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 33 0
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