RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우; 장철영; 이용현

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 도승우 장철영 이용현

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제27회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.8

수록면: 139 - 139 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018019594

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