Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석

배근학; 김진모; 정동근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 배근학 김진모 정동근

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 72 - 72 (1page)

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배근학

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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김진모

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 13 이용수 144

정동근

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018030173

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