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Internal Antenna-type 유도결합플라즈마 장치를 이용한 나노결정질 실리콘 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
이중 주파수(Dual Frequency)를 이용한 유도결합 플라즈마 소스의 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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