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YIG 단결정 소재가 주로 circulator, isolator, filter 및 resonator 등의 고주파 협대역 이동통신용 소자에 사용되고 있으나, 최근 소형 / 경량화에 따른 YIG 박막의 소요가 예상되면서 에피택셜 박막성장 기술이 많이 연구되고 있다. 본 연구에서 KrF excimer laser를 사용하고, 산소분압을 20~500 mTorr로 조절하면서 박막을 제조하여 산소분압과 박막두께가 박막의 조직, 조성 및 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 기판으로는 GGG(111)을 사용하였고 700℃에서 증착을 실시하였다. 사용한 laser beam이 에너지 밀도는 7.75J / ㎠였다. 20mTorr 산소분압 하에서 증착한 박막은 항상 에피택셜 성장을 보이고, 2.75 ㎛ 두께의 시편은 800℃/20분 열처리 후에 4πMs가 1500 Gauss, Hc는 3 Oe의 값을 보였고, 특히 0.8 ㎛ 두께의 시편은 열처리 없이 4πMs 값이 1730 Gauss, Hs는 7 Oe의 우수한 특성을 보여, YIG 단결정의 자기특성에 육박하는 값을 보였다.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and discussion
Ⅳ. Conclusion
References
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