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전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2006년도 전력전자학술대회 논문집
발행연도
2006.6
수록면
56 - 58 (3page)

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본 논문은 PVD(Physical Vapor Deposition)의 마그네트론 스퍼터(Magnetron sputter) 박막코팅(Thin film coating) 공정에서 플라즈마(Plasma)를 발생시키고 제어하는 DC 전원공급 장치에 관한 것이다. 이 논문에서는 임피던스의 변화가 심하고 아크(Arc)가 빈번히 발생하는 플라즈마 부하의 특성에 대해, 과도상태(Transient state)의 출력제어 성능을 향상시키고 아크 발생 시 부하로 전가되는 아크에너지를 저감시키기 위한 직류전원 공급 장치에 대해 ... 전체 초록 보기

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. DC 전원장치 개발
3. 전원장치의 특성 및 실험결과
4. 결론
참고문헌

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