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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
44 - 48 (5page)

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Micro Electric-Thermal-Structural actuators fabricated by polysilicon is a kind of thermal actuators widely applied in MEMS. Such actuator works on the basis of the difference of thermal expansion between thin film arm and blade. Since the actuator’s deflection at the tip is directly a function of applied potential difference, the amount of tip deflection can be accurately calibrated by applied voltage. In the present paper, the computational study requires a coupled multi-physics analysis that accounts for interactions between electric, thermal and elastic fields of actuators. The objective of the present study is to conduct the preliminary parameter study of micro actuator to see the effects of how much stress occurs at the critical position on the actuator and how long it takes for the blade to deform as actuation, etc.
#Micro Thermal Actuator(마이크로 열변형 액츄에이터) #Transient Analysis(과도해석) #Deflection(변형량) #Actuation Time(작동시간)

목차

Abstract
1. 서론
2. U 자 모양 열변형 액츄에이터의 작동원리 및 이론
3. 해석이론
4. 결과
5. 결론
참고문헌

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