자기조립 단분자 막과 나노패턴닝

성명모 ,  정덕영

고분자 과학과 기술

1999 .08

100㎚ 이하의 패턴구현을 위한 h-PDMS 스탬프 제작기술

조정대 ,  김광영 ,  이응숙

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

나노 임프린트를 위한 스탬프 개발 기술

이진우 ,  주병권

전기의세계

2007 .10

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

나노구조물들(Nanostructures)의 제작 및 패턴닝(Patternning)기술

정준호 ,  신영재 ,  이응숙

기계와 재료

2002 .01

초음파세정기술

이춘삼

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정기술

최종복

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발

손일룡 ,  김태곤 ,  유영삼 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

복제된 폴리머 스탬프를 이용한 UV 나노 임프린트 리소그래피

신요셉 ,  정주연 ,  최대근 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

핫엠보싱 공정을 이용한 50nm급 고분자 스탬프 제작에 관한 연구

홍성훈 ,  황재연 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

대체 세정장치의 경제성 분석

노경호

전자진흥

1993 .01

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

플라즈마 세정기술 현황

남기석 ,  김종국 ,  이상로

기계와 재료

2000 .01

식품공업에 있어서의 세정기술

허종화 ,  문준식

공기청정기술

1996 .01

Fluorocarbon 박막을 이용한 스탬프 복제기술 개발

김규채 ,  반창현 ,  박지훈 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

자외선 세정기술의 응용

문세호

조명·전기설비

2005 .10

마이크로/나노 구조물의 비전통적인 물성 평가 기술

김재현 ,  현승민 ,  장봉균 외 4명

기계저널

2009 .05

Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가

백지영 ,  송재동 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12