나노 기둥 압축 시험을 이용한 UV-경화 폴리머의 기계적 물성 측정

정수정; 김재현; 이학주; 박상후; 양동열

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정수정 김재현 이학주 박상후 양동열

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2005.5

수록면: 330 - 335 (6page)

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In this study, we adopt an advanced nanoindentation test, Nano Pillar Compression Test (NPCT), to measure compression properties of polymeric micro/nano structures. Nano Stereo Lithography (NSL) and Focused Ion Beam (FIB) milling are utilized to fabricate UV-curable polymeric pillars with different diameters between 10㎛ and 500㎚ on Si substrate. The uniaxial compression test is performed on each polymeric pillar using a nanoindentation apparatus with a flat-ended diamond punch tip, and the compression properties of UV-curable polymer are extracted from measured load-displacement data. The dependency of compression properties on loading condition and specimen size are discussed.

#Nano Pillar Compression Test(나노 기둥 압축 시험) #UV-curable polymer(UV-경화 폴리머) #Mechanical compression property(기계적 압축 물성)

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