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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.5
- 수록면
- 305 - 310 (6page)
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Currently, piezoelectric actuators which have attractive features such as high output force, high positioning resolution, high stiffness and quick response have been used in many ultra precision stages. But their positioning ranges are very small. This very limited displacement severely restricts the actuator's immediate implementation for long-range positioning.
This paper shows an inchworm type stage with hinge structures as lever mechanism for nanometer resolution with large dynamic range and studies on characteristics of it. The inchworm stage has hinge structure levers which can shift their support point position. And it can amplify/reduce output displacement using mechanical advantage with a lever. The inchworm stage which has 3.6, 1.6, 0.8, and 0.4 lever ratios was designed and manufactured.
As the results of simulations, the larger lever ratio is, the smaller stiffness of lever portion is. As the results of experiments, when 100V voltage is inputted into the inchworm stage, output displacement of each lever ratio (3.6, 1.6, 0.8, and 0.4) is 72.8㎛, 32.5㎛, 25.1㎛ and 16.4㎛. We could confirm displacement amplification, or decrease by lever ratio. Hysteresis of stage could present that grow according as lever-rate rises and that change greatly according to pre-load of PZT at stage assembly.
This paper shows an inchworm type stage with hinge structures as lever mechanism for nanometer resolution with large dynamic range and studies on characteristics of it. The inchworm stage has hinge structure levers which can shift their support point position. And it can amplify/reduce output displacement using mechanical advantage with a lever. The inchworm stage which has 3.6, 1.6, 0.8, and 0.4 lever ratios was designed and manufactured.
As the results of simulations, the larger lever ratio is, the smaller stiffness of lever portion is. As the results of experiments, when 100V voltage is inputted into the inchworm stage, output displacement of each lever ratio (3.6, 1.6, 0.8, and 0.4) is 72.8㎛, 32.5㎛, 25.1㎛ and 16.4㎛. We could confirm displacement amplification, or decrease by lever ratio. Hysteresis of stage could present that grow according as lever-rate rises and that change greatly according to pre-load of PZT at stage assembly.
목차
Abstract
1. 서론
2. 변위증폭 인치웜 적용 기술
3. 인치웜 스테이지 제작 및 성능 평가
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
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