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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제18권 제2호
발행연도
2008.4
수록면
71 - 74 (4page)

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본 논문에서는 4분할 광 검출기 상에 입사된 광점의 크기에 따른 optical beam deflection 방식에서의 변위 측정감도의 변화에 대해 살펴보았다. 3 ㎽의 헬륨-네온 레이저를 사용하여 optical beam deflection 방식의 광학적 변위 측정 장치를 제작하였으며 광 검출기에 도달하는 광점의 크기를 변화시켜가며 제작된 변위 측정 장비가 나타내는 변위 측정감도를 관찰하였다. 또한 광 검출기에 도달하는 optical beam power를 원형의 균일한 분포를 지닌 광점으로 설정하여 광점 크기의 변화에 따른 변위 측정감도를 계산하였다. 측정된 결과와 계산을 통하여 검출기 상에 입사하는 광점의 크기가 작을수록 변위 측정감도가 증가함을 알 수 있었으며 이는 나노미터 급의 변위측정 장비 개발에 있어 광 검출기에 도달하는 광점의 크기를 최소화함으로써 변위 측정감도를 최적화 할 수 있음을 나타낸다.
#광선속 편향 #변위 측정감도 #광점크기 #optical beam deflection #displacement detection sensitivity #optical spot size

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 이론
Ⅲ. 결과 및 논의
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - M. L. Roukes / 2001 / / Phys. World 14 : 25 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - H. G. Craighead / 2000 / / Science 290 : 1532 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - K. L. Ekinci / 2005 / / Rev. Sci. Instrum 76 : 61101 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - D.W. Lee / 2000 / / Sens. Actuators A 83 : 11 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - T. Kouh / 2005 / / Appl. Phys. Lett 86 : 13106 ~ google schola

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