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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이정민 (조선대학교) 김선호 (조선대학교) 박정우 (조선대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제11호
발행연도
2010.11
수록면
1,631 - 1,636 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

AFM 기반의 Pulse 전기 화학 가공을 응용한 실리콘 표면의 국부적 산화 및 화학적 특성
이정민 ,  박정우 ,  김선호 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료
AFM 기반 Pulse 를 이용한 전기화학적 가공
이정민 ,  김선호 ,  박정우 대한기계학회 논문집 A권 2010.11 학술저널
AFM 기반 Pulse를 이용한 전기화학적 가공
이정민 ,  김선호 ,  박정우 대한기계학회 춘추학술대회 2010.04 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구는 AFM 을 이용하여 nano scale 의 Lithography 를 구현하는 것이다. 외부의 pulse generator 를 통하여 전류를 통전 시키는 방법을 수정함으로써, 일정 습도를 유지한 상태의 AFM 내부에서 Si-wafer 의 표면과 Tip의 사이에 전원을 인가하고 pulse generator 에서 임의로 pulse 폭의 변화를 준다. Si-wafer 표면에서 물 분자가 Tip과 wafer 사이의 직접적인 전류의 이동조절로 인해 전기 화학적 반응을 적절히 제한하여 산화물을 생성시키는 방법이다. 이렇게 생성된 산화물은 불산 처리를 통하여 산화물을 식각시켜 미세 그루브를 구현 할 수 있다. 본 연구를 통한 나노 패턴 생성 기법은 나노 머시닝 기술의 진보에 잠재적 가능성을 제시한다.
#Electrochemical Nanomachining(전기화학적 나노가공) #Oxidation(산화) #Scanning-Probe Lithography(스케닝 프로브 리소그래피) #AFM(원자현미경) #Nanopatterning(나노패터닝)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험 과정
3. 실험 결과
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (0)

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