R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개

최규정; 신웅철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최규정 (NCD Technology) 신웅철 (NCD Technology)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 267 - 267 (1page)

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최규정

소속기관 NCD Technology

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 283

신웅철

소속기관 엔씨디테크놀로지

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 10 이용수 626

이 논문과 함께 이용한 논문

유기반도체 증착장비 내 증착원 위치에 따른 노즐설계

곽인철 , 양영수 , 최범호 대한전자공학회 학술대회 2009 .11

ALD방법으로 ZnO 나노와이어에 코팅된 Al₂O₃ 박막

황주원 , 김기현 , 강명일 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002 .11

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김현범 , 이재욱 , 양성욱 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2017 .04

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 , 최경현 , 양영진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2016 .12

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 , 윤혜원 , 이동권 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015 .05

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