Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba<SUB>0.5</SUB>Sr<SUB>0.5</SUB>TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee; Doo-Jin Choi; Young-Jei Oh

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Chil-Hyoung Lee (한국과학기술연구원) Doo-Jin Choi (연세대학교) Young-Jei Oh (한국과학기술연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 171 - 171 (1page)

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Chil-Hyoung Lee

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Doo Jin Choi

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