메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김보성 (서울과학기술대학교) 박민수 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제38권 제9호
발행연도
2014.9
수록면
967 - 972 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

레이저 습식 후면 식각공정을 이용한 미세 유리 구조물 제작
김보성 ,  박민수 대한기계학회 논문집 A권 2014.09 학술저널
레이저 습식후면식각기법을 이용한 미세 유리 구조물 제작
김보성 ,  김보현 ,  박민수 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2014.04 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
우수한 광투과성 및 경도를 지닌 유리는 바이오, 전자, 광학 등의 분야에서 널리 활용되고 있다. 하지만, 유리는 경도가 높고 깨지기 쉬워 일반적으로 특수가공법을 이용하여 가공이 이루어진다. 그 중 레이저는 공구가 불필요하며 가공 속도가 빠르다는 장점을 지니고 있지만 유리의 높은 광투과성 때문에 가공에 적용하기에는 많은 제약이 따른다. 이에 저출력의 나노초 펄스 레이저로 유리 가공을 하기 위하여 간접가공법인 레이저 습식 후면 식각공정을 활용하고자 한다. 기존의 연구들에서는 흡수율이 뛰어난 고가의 단파장 레이저 장비를 주로 사용하였으나 본 연구에서는 범용적인 근적외선 레이저 장비를 활용하여 유리 구조물 제작의 가능성을 실험하였다. 특히 깊은 구조물 제작시 발생하는 문제점을 확인하고 이를 해결하기 위해 초음파 부가 공정을 통한 미세 구조물 제작을 수행하였다.
#Laser Machining(레이저 가공) #LIBWE(레이저 습식 후면 식각공정) #Glass Micro Structure(유리미세 구조물) #Ultrasonic Vibration(초음파 진동)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험 구성
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 전성건 / 2003 / 화학적 초음파가공을 이용한 유리의 미세가공 / 대한기계학회논문집 A 27 (12) : 2085 ~ 2091 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - Chu, C. N / 2000 / Fabrication of Micro-Shapes Using EDM and Ultrasonic Machining / Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (7) : 20 ~ 27 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 홍지훈 / 2007 / 유리의 미세 초음파 가공 시 입구 진원도 향상 및 출구 크랙방지 / 대한기계학회논문집 A 31 (10) : 1040 ~ 1046 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 김광현 / 2002 / Powder Blasting에 의한 유리의 미세 홈 가공시 노즐 주사횟수의 영향 / 대한기계학회논문집 A 26 (7) : 8 ~ 1287 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 김재구 / 2006 / 펨토초 레이저에 의한 투명 유리내부 미세가공특성 / 한국정밀공학회지 23 (5) : 190 ~ 196 dbpia

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

고온, 고압조건에서의 인도네시아 석탄촤의 CO₂ 가스화 반응
리산디케빈요하네스 ,  김량균 ,  황찬원 외 1명 대한기계학회 논문집 B권 2014 .09
레이저 습식 후면 에칭과 초음파의 복합공정을 통한 유리 관통 가공
박민수 ,  김혜미 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05
내식성 향상을 위한 마그네슘합금의 ZrO₂ 적용 레이저 표면처리
윤상우 ,  강동찬 ,  김주한 한국기계가공학회지 2016 .08
AISI M2 파우더를 이용한 레이저 메탈 디포지션의 트랙 특성 분석
김원혁 ,  송명환 ,  박인덕 외 1명 한국자동차공학회논문집 2016 .07
레이저 솔더링 접합 특성에 관한 연구
강희신 ,  노지환 ,  신근호 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-500-002612286