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자료유형
학술저널
저자정보
이주민 (Seoul Nat"l Univ. of Science & Technology) 한유하 (Korea Gas Technology Corporation) 곽동열 (Seoul Nat’l Univ. of Science & Technology) 박익근 (Seoul Nat’l Univ. of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.23 No.5
발행연도
2014.10
수록면
478 - 484 (7page)

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Ultrasonic atomic force microscopy(Ultrasonic-AFM) can be used to obtain images of the elastic properties of a subsurface and to evaluate the elastic properties by measuring the contact resonance frequency. When a tip is in contact with the sample, it is necessary to understand the cantilever behavior and the tip-sample interaction for the quantitative and reliable analysis. Therefore, precise analysis models that can accurately simulate the tip-sample contact arerequired; these can serve as good references for predicting the contact resonance frequency. In this study, modal analyses of the first four modes were performed to calculate the contact resonance frequency by using a spring model, and the deformed shapes of the cantilever were visualized at each mode. We presented the contact characteristics of the cantilever with a variety of contact conditions by applying the contact area, contact material thickness, and material properties as the parameters for the FEM analysis.
#Ultrasonic Atomic Force Microscopy #Finite element method #Contact resonance frequency #Cantilever #Contact stiffness

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 접촉 모델
3. 캔틸레버의 접촉 공진주파수 시뮬레이션
4. 접촉 특성에 따른 캔틸레버 시뮬레이션
4. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Ahn, H. S. / 2009 / Analysis of nano-contact between nano-asperties using atomic force microscopy / J. KSMTE 18 (4) : 369 ~ 374 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 김영빈 / 2012 / 주파수 변화에 따른 AFM 기반의 펄스 전기화학 폴리싱 표면특성 분석 / 한국생산제조시스템학회지 21 (2) : 246 ~ 251 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 이동기 / 2013 / 실리콘 기판 위에 제작된 나노 크기의 구조물을 가진 그루브 표면이 이방성 젖음에 미치는 영향 / 한국생산제조시스템학회지 22 (3) : 544 ~ 550 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - García, R. / 2002 / Dynamic atomic force microscopy methods / Rep 47 : 197 ~ 301 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 곽동열 / 2012 / UAFM을 이용한 폴리머 박막의 접합 특성 평가 / 비파괴검사학회지 32 (2) : 142 ~ 154 dbpia

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