웨이퍼 궤적 시뮬레이션에 의한 CMP 균일도 향상 연구

김상기; 이용일; 백종태; 유형준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김상기 이용일 백종태 유형준

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권

발행연도: 1995.1

수록면: 79 - 79 (2page)

이용수

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김상기

소속기관 포항공과대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 산업공학

논문수 179 이용수 6,743

이용일

소속기관 대한전자공학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 5 이용수 19

백종태

소속기관 대한전자공학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 20 이용수 517

유형준

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 61 이용수 1,295

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