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초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
스마트 진공펌프용 상태변수 측정모듈의 주요 성능과 확장성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
드라이펌프 배기성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
진공펌프 에너지 실시간 모니터링 시스템 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Smart 건식진공 펌프의 상태진단 모듈 시작품 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
스마트 진공펌프용 진동측정 모듈의 주요 성능과 제품화 진척도
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공펌프 상태진단 기술의 반도체 공정 적용성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
[진공기술의 현재와 미래] 다단 루츠 드라이 진공펌프 기술 개발
진공이야기
2015 .12
두꺼운 스테인레스강 진공용기의 배기
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
크라이오펌프 알곤 배기용량 기준에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
크라이오 워터펌프 및 터보분자펌프 복합시스템의 배기성능
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
고진공펌프 배기속도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
[진공기술의 현재와 미래] 건식 진공펌프의 상태진단 및 예지보수 기법
진공이야기
2015 .03
20인치 크라이오 워터펌프 (CWP) 배기성능 종합평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
조합펌프와 이온펌프의 초고진공 배기 성능 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
산화방지막을 입힌 저탄소강 진공용기의 배기곡선 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
[보호진공과학상] 진공환경에서의 반도체/OLED 증착소재(precursor) 물성 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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