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학술저널
저자정보
신주엽 (조선대학교) 강성훈 (조선대학교) 마혜준 (조선대학교) 권익환 (포항공과대학교) 양승필 (동아인재대학교) 정현철 (조선대학교) 홍정기 (포항공과대학교) 김경석 (조선대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제36권 제1호
발행연도
2016.2
수록면
18 - 26 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2020

디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피로 제작된 ITO 박막 패턴에 대한 증착 높이 측정
신주엽 ,  김경석 ,  정현철 비파괴검사학회지 2020.02 학술저널

2016

디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정
신주엽 ,  강성훈 ,  마혜준 외 5명 비파괴검사학회지 2016.02 학술저널

2015

반사형 디지털 홀로그래피 시스템을 이용한 포토리소그래피 공정품의 패터닝 선폭 측정
신주엽 ,  김경석 ,  정현철 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

초록· 키워드

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반도체 산업은 우리나라 주력산업중 하나로 매년 꾸준한 성장세를 보이며 지속적인 성장을 하고 있다. 이러한 반도체 산업에서의 중요한 기술은 소자의 고 집적화이다. 이는 면적당 메모리 용량을 증가시키는 것으로 핵심역할을 하는 것이 바로 포토리소그래피 기술이다. 포토리소그래피란 마스크의 표면에 빛을 쬐어 생기는 그림자를 웨이퍼 상에 인쇄하는 기술이며 반도체 제조공정에서의 가장 중요한 공정이다. 이러한 공정을 통해 나온 패터닝을 분석 시에 폭과 단차의 균일성을 측정한다. 이에 따라 본 논문은 포토리소그래피 공정이 적용된 시험편 패터닝에 폭과 판 사이와의 단차를 투과형 디지털 홀로그래피를 구성하여 측정하고자 한다. 투과형 디지털 홀로그래피 간섭계를 구성하고 시험편에 임의의 9포인트를 설정하여 각 포인트를 측정하고 상용장비인 SEM (scanning electron microscopy)과 alpha step으로 측정한 결과와 비교하고자 한다. 투과형 디지털 홀로그래피는 측정시간이 타 기법에 비에 짧다는 장점과 배율렌즈를 사용하기 때문에 저 배율에서 고 배율로 변경하여 측정할 수 있는 장점을 가지고 있다. 실험 결과로부터 투과형 디지털 홀로그래피가 포토리소그래피가 적용된 패터닝 측정에 유용한 기술임을 확인할 수 있었다.
#디지털 홀로그래피 간섭시스템 #포토리소그래피 #패터닝 #단차 #폭 #Digital Holography Interferometer System (DHIS) #Photolithography #Patterning #Step-Hight #Width

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 실험
4. 실험 결과
5. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
D. Gabor, "A new microscopic principles," Nature, Vol. 161, No. 4098, pp. 777-778 (1948) google schola U. Schnars and W. Jueptner, "Digital Holography," Springer Berlin Heidelberg, pp. 21- 98 (1965) google schola M. A. Kronrod, N. S. Merzlyakov and L. P. Yaroslavskii, "Reconstruction of a hologram with a computer," Sov. Phys. Tech. Phys., Vol. 17, No. 2, pp. 333-344 (1972) google schola K. Curtis, L. Dhar, A. Hill, W. Wilson and M. Ayres, "Holographic Data Storage: from Theory to Practical Systems," Wiley, New York (2010) google schola I. Yamaguchi and T. Zhang, "Phase-shifting digital holography," Opt. Lett. Vol. 22, No. 16, pp. 1268-1270 (1997) google schola

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