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Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
N₂/NH₃SiH₄ 유도 결합형 플라즈마의 압력과 혼합가스 비율에 따른 이온 및 중성기체 밀도 분포
전기학회논문지
2017 .02
이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
이중 안테나 제어에 따른 유도결합 N₂/NH₃/SiH₄ 플라스마의 전자 및 라디칼 밀도 분포
전기학회논문지
2022 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
PECVD SiO₂의 N₂O/SiH₄ 유량비와 RF 파워 공정 변수가 IGZO 박막 트랜지스터 특성에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
외부 자기장이 인가된 유도 결합 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
NH3 Plasma Treatment를 사용한 고성능 TFT 제작 및 분석
전기전자재료학회논문지
2017 .08
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
Improvement in the Device Performance of ALD-Zn(O,S)/CZTSSe Heterojunction Thin-Film Solar Cells via Chemical Treatment
AFORE
2021 .10
금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근
인포메이션 디스플레이
2017 .01
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물의 순환형 식각 공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
대기 중 암모니아 측정을 위한 분석 방법별 비교
실내환경 및 냄새 학회지
2020 .01
MR 기술을 활용한 유체해석 시뮬레이션의 3D 체험 시스템
설비저널
2017 .12
디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여
인포메이션 디스플레이
2017 .01
ALD 설비의 NH₃(Ammonia)누출 시나리오에 대한 내부유동 및 제어 속도 해석
한국가스학회지
2022 .10
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