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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.3
- 수록면
- 1,265 - 1,271 (7page)
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노광기의 램프 냉각은 노광성능 및 기기수명에 큰 영향을 미친다. 본 논문에서는 노광장치로 유입되는 냉각 공기의 속도를 도출하기 위해 램프하우징 내부의 열유동 해석을 수행하였다. 램프하우징의 냉각성능은 하부와 측면의 냉각 공기 속도에 의해 영향을 받는다. 하부 및 측면의 냉각 공기 속도를 독립변수로 설정하고, 상부 반사경 온도, 타 원경의 온도 및 상부 배출공기의 온도를 종속변수로 설정하였다. 효율적인 냉각 해석을 위해 반응표면분석법에 의해 해석 조건을 설정하였다. 설정된 조건에 따라 해석을 수행하였으며, 수행된 결과를 바탕으로 냉각 공기 속도에 따른 램프 하우징 주요부 온도를 예측할 수 있는 회귀식을 도출하였다. 또한 종속변수를 목표온도까지 냉각하기 위한 냉각 공기의 유입속도를 설정하였다.
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참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - S, K. Kim / 2006 / A study on substrate stage temperature / KSDET 5 (4) : 35 ~ 40
2. [학술지(정기간행물)] - 안진홍 / 2008 / 반도체 공정용 차압식 질량 유량 제어 장치의 개발 및 성능 평가 / 반도체디스플레이기술학회지 7 (3) : 29 ~ 34
3. [단행본] - W. S / 2005 / Numerical analysis on Heat Transfer Characteristics in a Lamp House / KSME : 183 ~ 188
4. [보고서] - J. J. Kim / 2013 / “Improvement of Pattern Uniformity by Controlling Thermal Expansion of Mirror System : 719 ~ 720
5. [학술지(정기간행물)] - D. B. Spalding / 1974 / The numerical computation of turbulent flows / CMAME 3 : 269 ~ 289
2. [학술지(정기간행물)] - 안진홍 / 2008 / 반도체 공정용 차압식 질량 유량 제어 장치의 개발 및 성능 평가 / 반도체디스플레이기술학회지 7 (3) : 29 ~ 34
3. [단행본] - W. S / 2005 / Numerical analysis on Heat Transfer Characteristics in a Lamp House / KSME : 183 ~ 188
4. [보고서] - J. J. Kim / 2013 / “Improvement of Pattern Uniformity by Controlling Thermal Expansion of Mirror System : 719 ~ 720
5. [학술지(정기간행물)] - D. B. Spalding / 1974 / The numerical computation of turbulent flows / CMAME 3 : 269 ~ 289
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