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김양준 (신성이엔지) 김동권 (신성이엔지) 남승백 (신성이엔지)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2017년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2017.6
수록면
216 - 219 (4page)

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반도체 및 디스플레이 제조의 경우 작은 청정도 변화에 매우 민감하기 때문에 클린룸 운전 시 청정도 관리를 위해 상당히 많은 양의 에너지를 소비하고 있다 또한 최근의 제조라인의 대형화 및 생산량 증가로 클린룸의 초기 시공비 및 운전비용이 비약적으로 증가하고 있다. 따라서 ‘청정도’라는 제조환경에 있어서 가장 중요한 요소를 유지하면서 사용자 측면에서의 초기 투자비 절감과 운전비용 절감이 가능한 시스템을 제시하는 것이 매우 중요하다. 본 연구에서는 에너지 절감이 가능한 기류확산유닛을 제안하고 이를 실제 상업용 고청정도 클린룸 설계에 적용하여 수치해석적 방법을 통해 평가/검증하였다. 급기연령 분석을 통해 상업용 클린룸의 청정도 평가가 가능하였으며, 기류확산유닛을 적용하여 동일한 청정도를 유지하면서 FFU 설치수량 및 순환풍량절감이 가능한 것을 확인하였다.
#Energy-saving(에너지절감) #Clean room(클린룸) #Air flow diffusion Unit(기류확산유닛) #CFD(수치해석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 고청정 클린룸의 설계
3. 성능 분석 및 검증
4. 결론
References

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