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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
장기준 (목원대학교) 김기출 (목원대학교)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제20권 제6호
발행연도
2019.6
수록면
80 - 85 (6page)

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이산화바나듐은 잘 알려진 금속-절연체 상전이 물질이며, 바나듐 레독스 흐름 전지는 대규모 에너지 저장장치로 활용하기 위해서 많은 연구가 이루어져왔다. 본 연구에서는 바나듐 옥사이드 (VO<SUB>x</SUB>) 박막을 리튬이온 이차전지의 양극으로 적용하는 연구를 수행하였다. 이를 위해서 VO<SUB>x</SUB> 박막을 실리콘 웨이퍼 위에 열산화공정으로 300 nm 두께의 SiO₂층이 형성된 Si 기판 및 쿼츠 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터 시스템으로 60분 동안 500 ℃에서 다른 RF 파워로 증착하였다. 증착된 VOx 박막의 표면형상을 전계방출 주사전자현미경으로 조사하였고, 결정학적 특성을 Raman 분광학으로 분석하였다. 투과율 및 흡수율과 같은 광학적 특성은 자외선-가시광선 분광계로 조사하였다. Cu Foil 위에 증착된 VO<SUB>x</SUB> 박막을 리튬이온전지의 양극물질로 적용하여 CR2032 코인셀을 제작하였고, 전기화학적 특성을 조사하였다. 그 결과 증착된 VO<SUB>x</SUB> 박막은 RF 파워가 증가할수록 낟알 크기가 증가하였고, RF 파워 200 W 이상에서 증착된 박막은 VO₂ 상을 나타내었다. 증착된 VOx 박막의 투과율은 결정상에 따라 다른 값을 나타내었다. VO<SUB>x</SUB> 박막의 이차전지 특성은 높은 표면적을 가질수록, 결정상이 혼재될수록 높은 충방전 특성을 나타내었다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (15)

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