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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제16권
발행연도
2003.1
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This paper describes the development of bulk acoustic wave (BAW) resonators using a PolyVinyliDene Fluoride (PVDF). The resonators have an air gap between a substrate for acoustic isolation without surface micromachining. We measured the resonance frequency and the input reflection coefficient (S11) of resonators using vector network analyzer. The fundamental resonance in this experimental result was measured at 1.4 GHz with a return loss of -23.2 dB. We can confirm a possibility of resonator application as using a PVDF because it can fabricate the resonator without etching process.
#BAW resonator #PVDF #Return loss

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