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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제5호
발행연도
2016.1
수록면
312 - 316 (5page)

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본 연구에서는 우수한 전도 특성과 화학적 안정성을 지녔으며 소형화 및 대량생산이 가능한 카본 나노 튜브(carbon nanotubes, CNT)를 열적 화학 기상 성장법(Thermal Chemical Vapor Deposition)을 통해 제조된, MWCNT (Multi-Walled Carbon Nanotube)와 산화아연(zinc oxide, ZnO)을 이용하여 MWCNT/ZnO 복합체 필름을 제작하였으며, 상온 및 온도 변화에 따른 NOX 가스 검출 특성을 산화아연 가스센서와 비교 분석하였다. 또한, 챔버 내 NOX 가스 농도에 따른 가스센서의 검출 특성을 실험하였다.

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