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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제11호
발행연도
2015.1
수록면
694 - 697 (4page)

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탄소 섬유의 물리적 특성을 개선하기 위해 다양한 RF 전력 조건으로 듀얼 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 제작한 탄소 박막의 특성을 조사하였다. 다양한 RF 전력 조건에서 스퍼터로 증착된 모든 탄소 박막은 균일하고 매끄러운 표면 특성을 가진 비정질 구조를 나타냈다. 경도와 탄성 계수는 RF 전력의 증가와 함께 증가하고 탄소 박막의 접착력 및 마찰 특성은 RF 전력의 증가와 함께 향상되었다. 결론적으로 스퍼터링 공정에서 RF 전력의 증가는 탄소 박막의 물리적 특성 개선에 기여하고 이러한 특성은 탄소 섬유 강화 플라스틱의 물리적 특성을 개선하는데 활용될 수 있을 것으로 기대된다.
#Carbon #Dual magnetron sputtering #Hardness #Surface roughness #Carbon fiber

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참고문헌 (14)

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A. Czyzniewski / 2003 / / Thin Solid Films 433 : 180 ~ google schola A. Grill / 1997 / / Surf. Coat. Technol. 94 : 507 ~ google schola C. M. Park / 2014 / / Proc. of KIEE Autumn Conference 11 : 286 ~ 287 google schola J. Fujimoto / 1998 / / Adv. Compo. Mat. 7 : 365 ~ google schola J. Robertson / 1994 / / Pure Appl. Chem. 66 : 1789 ~ google schola

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